特許
J-GLOBAL ID：200903067720314161
固体リチウム二次電池の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 和郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-330660
公開番号（公開出願番号）：特開2003-132942
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 量産に適した高速なドライパターニングプロセスの生産速度を向上させ、実用的な固体リチウム二次電池の製造装置を提供する。また、使用によって寸法精度が低下したマスクを用いても、ドライパターニング精度を維持できる製造装置を提供することをも目的とする。【解決手段】 成膜ドラム、シート状の金属基板およびマスクをマスクが表側となるように成膜ドラム上に該ドラムに張架されるように搬送する基板搬送装置およびマスク搬送装置、発電要素を成膜ドラム上の固体マスクに向けて気相で供給する材料供給装置、並びに金属基板および固体マスクに付された各標識マークに基づいて成膜ドラム上において金属基板と固体マスクとが所定の位置となるように調整する位置合わせ手段を具備する。
請求項（抜粋）：
金属基板に第1活物質層、固体電解質層、および第2活物質層を順次形成する固体リチウム二次電池の製造装置であって、成膜ドラム、シート状の金属基板を前記成膜ドラム上に該ドラムに張架されるように搬送する基板搬送装置、シート状の固体マスクを前記成膜ドラム上に該ドラムに前記金属基板上で張架されるように搬送するマスク搬送装置、前記各層の材料を前記成膜ドラム上の固体マスクに向けて気相で供給する材料供給装置、並びに前記金属基板および固体マスクに付された各標識マークに基づいて前記成膜ドラム上において金属基板と固体マスクとが所定の位置となるように調整する位置合わせ手段を具備する固体リチウム二次電池の製造装置。
Fターム (11件)：
5H029AJ14
, 5H029AK03
, 5H029AL12
, 5H029AM12
, 5H029BJ04
, 5H029BJ12
, 5H029CJ24
, 5H029CJ30
, 5H029DJ07
, 5H029EJ01
, 5H029HJ12
