特許
J-GLOBAL ID：200903067734044744
高周波圧電振動子及びその製造法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014792
公開番号（公開出願番号）：特開平11-205076
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 ATカット水晶振動子の基本波周波数が150MHz以上で、共振周波数が高精度の高周波圧電振動子とその製造法を実現する。【解決手段】 圧電基板の一方の主面を凹陥せしめ、超薄板部とこれを支持する環状部とを一体的に形成した圧電基板の凹陥部側に電極を形成し、平坦側に小電極を乗せてその振動部の周波数を測定し、ドライエッチングにて振動部の周波数を仕上げた高周波圧電振動子。
請求項（抜粋）：
一方の主面に凹陥部を有する超薄板圧電基板の凹陥側に電極を形成すると共に該凹陥側を下向きにしてパッケージに実装し、前記超薄板圧電基板の平坦側に上乗せ電極を近接させてその周波数を測定した後、所望の周波数に近づけるべく前記超薄板圧電基板の平坦側をドライエッチング手段を用いて削り、その後平坦部に電極を形成することを特徴とする高周波圧電振動子の製造法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/19 A
, H03H 3/02 B
