特許
J-GLOBAL ID：200903067759271753
炭化水素の検出方法及び基材又は基板表面の汚染防止方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207005
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092157
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 気体中に含まれる微量の炭化水素を簡単な手段で検出できる方法と、その方法を用いて捕集材の寿命を検出する汚染防止方法と装置を提供する。【構成】 気体中に微量含まれる炭化水素を検出する方法において、気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出するものであり、また基材又は基板と接触する気体2を、除塵手段7と、吸着及び/又は吸収手段4とにより浄化し、前記気体中の微粒子濃度をクラス1000以下、非メタン炭化水素濃度を0.2ppm 以下となした後、前記気体を基材又は基板表面10に暴露することによる基材又は基板表面の汚染を防止する方法において、前記気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出してモニターしながら行うこととしたものである。
請求項（抜粋）：
気体中に微量含まれる炭化水素を検出する方法において、気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出することを特徴とする炭化水素の検出方法。
IPC (4件)：
G01N 31/22 122
, B01D 53/72
, G01N 31/00
, G01N 31/22
