特許
J-GLOBAL ID：200903067767392560
基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-189358
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041369
出願日： 1996年07月18日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 基板を汚染することがなく、かつ簡単な構成で低コストの基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構を提供する。【解決手段】 搬送キャリアTCから処理キャリアPCに未処理の基板列LWを移替える際には、プッシャ14はガイド142が下がった状態でガイド141によって基板列LWを支持する。また、その状態のプッシャ14によって突き上げられた基板列LWは内側チャック15によって挟持される。逆に、処理キャリアPCから搬送キャリアTCに処理済みの基板列LWを移替える際には、プッシャ14はガイド142が上がった状態でガイド142によって基板列LWを支持する。また、その状態のプッシャ14によって突き上げられた基板列LWは外側チャック16によって挟持される。
請求項（抜粋）：
整列された複数の基板からなる基板列を第1キャリアおよび第2キャリアの間で移替える基板移替え装置であって、ほぼ同位置で基板列を選択的に保持する第1保持機構および第2保持機構を備える基板保持手段と、前記基板保持手段の下方に位置するとともに、前記基板列を選択的に支持する第1ガイドおよび第2ガイドを備える基板突き上げ手段と、前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを前記基板保持手段の下方の停止位置を含む複数の停止位置の間で移動させる基板搬送手段と、を備えることを特徴とする基板移替え装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 L
