特許

J-GLOBAL ID：200903067771545893

投影露光装置

発明者： 笹谷 俊博 ,  遠藤 一正 ,  牛田 一雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323721
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183190
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】個々の部品の精度や組立の精度を非常に厳しく抑えることなしに、投影光学系内に残存する投影光学系の光軸に対して回転非対称な光学特性を調整可能としながら、耐久性、再現性に優れた高性能な投影露光装置の提供にある。【構成】本発明は、第1物体を照明する照明光学系と、該照明光学系によって照明された前記第1物体の像を所定の縮小倍率のもとで第2物体に投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記第1物体と前記第2物体との間に、前記投影光学系の光軸に対して回転非対称なパワーを持つ光学手段を配置し、前記光学手段は、前記投影光学系に残存する前記投影光学系の光軸に対して回転非対称な光学特性を補正するために、前記投影光学系の光軸を中心に回転可能または前記投影光学系の光軸に沿って移動可能に設けられる構成としたものである。

請求項（抜粋）：

第1物体を照明する照明光学系と、該照明光学系によって照明された前記第1物体の像を所定の倍率のもとで第2物体に投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記第1物体と前記第2物体との間に、前記投影光学系の光軸に対して回転非対称なパワーを持つ光学手段を配置し、前記光学手段は、前記投影光学系に残存する前記投影光学系の光軸に対して回転非対称な光学特性を補正するために、前記投影光学系の光軸を中心に回転可能または前記投影光学系の光軸に沿って移動可能に設けられることを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527