特許
J-GLOBAL ID：200903067773892876
微小領域物性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302492
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114634
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 試料に探針を接触させてμmオーダーの微小領域の電気物性を高い位置精度で測定する。【構成】 走査型電子顕微鏡構成を有する微小領域物性測定装置において、走査型電子顕微鏡により試料24を観察しながら複数の探針30を測定位置に移動させてこの試料24に接触させることにより、微小領域の抵抗などの電気物性を測定する。X線分析装置を設けた場合には、電気物性を測定すると同時に、必要に応じて、試料から発生する特性X線を分析することにより組成を分析する。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡構成を有し、上記走査型電子顕微鏡による試料の観察面に複数の探針を任意の位置関係で配設することにより上記試料の微小領域の物性を測定するようにした微小領域物性測定装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01N 23/225
, G01R 1/073
, G01R 27/02
, H01J 37/28
