固体撮像素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057199
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260968
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】全ての色の感度を向上させ、色再現領域を向上することが可能な固体撮像素子の提供する。【解決手段】1の色のカラーフィルタ5上に形成されたマイクロレンズの大きさが、他の色のカラーフィルタ上に形成されたマイクロレンズの大きさと異なる構造を採るので、感度の低い色(例えば、青、赤)のマイクロレンズ10の大きさを感度の高い色(例えば、緑)のマイクロレンズ11より大きなものとして分光感度を高めることにより、感度の低い色に関してノイズを低減することができ、固体撮像素子の色再現領域を向上することが可能となる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に複数の受光部を備え、前記受光部上にカラーフィルタ及びマイクロレンズを形成した固体撮像素子において、1の色のカラーフィルタ上に形成されたマイクロレンズの大きさが、他の色のカラーフィルタ上に形成されたマイクロレンズの大きさと異なることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , G02B 5/20 101 , H04N 5/335 , H04N 9/07

FI (6件)：

H01L 27/14 D , G02B 3/00 A , G02B 5/20 101 , H04N 5/335 V , H04N 9/07 D , H04N 9/07 A

Fターム (25件)：

2H048BB02 , 2H048BB10 , 2H048BB13 , 2H048BB46 , 4M118AA06 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA13 , 4M118CA27 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024AA01 , 5C024CA31 , 5C024EA04 , 5C024EA08 , 5C024FA01 , 5C024FA11 , 5C065AA01 , 5C065BB42 , 5C065DD01 , 5C065EE03 , 5C065EE11

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