特許

J-GLOBAL ID：200903067779624270

軟X線検査装置

発明者： 前田 史之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020020
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221501
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造で、ワークテーブルをXY軸方向へ移動できるだけでなく、Z軸方向へ傾動可能にする。【解決手段】軟X線を発生するX線源38と、このX線源38と対向して設けられたX線カメラと、X線源38とX線カメラの間に配設され被検査物を載置するワークテーブル5とを備えた軟X線検査装置において、ワークテーブル5を水平方向に移動させる移動機構手段と、ワークテーブル5の水平に対する角度を変える角度機構手段20,32と、移動機構手段を駆動制御する第1の制御手段と、角度機構手段20,32を駆動制御する第2の制御手段とを備えた軟X線検査装置とした。

請求項（抜粋）：

軟X線を発生するX線源と、このX線源と対向して設けられたX線カメラと、前記X線源と前記X線カメラの間に配設され被検査物を載置するワークテーブルとを備えた軟X線検査装置において、前記ワークテーブルを水平方向に移動させる移動機構手段と、前記ワークテーブルの水平に対する角度を変える角度機構手段と、前記移動機構手段を駆動制御する第1の制御手段と、前記角度機構手段を駆動制御する第2の制御手段と、を備えてなることを特徴とする軟X線検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

Fターム (21件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA08 ,  2G001JA12 ,  2G001KA03 ,  2G001LA02 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA13 ,  2G001PA30 ,  2G001QA01 ,  5E319AA03 ,  5E319CD52 ,  5E319GG15