特許
J-GLOBAL ID：200903067787955374
発光ダイオードの外観検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-110553
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308159
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 安定した判定結果が得られ、容易に検査を自動化することが可能な発光ダイオードの外観検査方法を提供する。【構成】 検査対象物の発光ダイオードペレット等からの反射光を得、その光強度によって検査対象物の画像を形成する画素信号について、隣接する画素信号の間の変化率を算出し、算出された変化率を予め設定した判定基準値と比較する。これにより、光強度の違いとして現れる検査対象物の外観の欠陥部分が、欠陥部分と、これに隣接する部分の画素信号との間での変化率として算出され、定量的に把握できる。すなわち、光強度の違う欠陥部分の状態がその周囲の状況に対する変化率の値の大小として得られ、この変化率の値を予め設定された判定基準値と比較することで、外観の良否の判定が明確にできる。
請求項（抜粋）：
被検査物からの光の強度に基づき前記被検査物の画像を形成する画素信号を得、得られた前記画素信号について隣接するものの間の変化率を算出し、算出された前記変化率の値と予め設定された判定基準値とを比較して外観の良否を判定するようにしたことを特徴とする発光ダイオードの外観検査方法。
IPC (3件)：
H01L 33/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
