特許
J-GLOBAL ID:200903067788135303
セラミック基板の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池内 寛幸 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-402869
公開番号(公開出願番号):特開2002-201077
出願日: 2000年12月28日
公開日(公表日): 2002年07月16日
要約:
【要約】【課題】有機物の除去が容易で、温度管理も容易なセラミック基板の製造方法を提供する。【解決手段】セラミックからなるセッターと、グリーンシートとを重ね合せて800°C〜1000°Cで焼成するセラミック基板の製造方法であって、前記セッターを形成するセラミックの気孔率が、40%〜80%であるセラミック基板の製造方法とする。
請求項(抜粋):
セラミックからなるセッターと、グリーンシートとを重ね合せて800°C〜1000°Cで焼成するセラミック基板の製造方法であって、前記セッターを形成するセラミックの気孔率が、40%〜80%であることを特徴とするセラミック基板の製造方法。
IPC (2件):
FI (3件):
H05K 3/46 Y
, H05K 3/46 H
, C04B 35/64 G
Fターム (13件):
5E346AA12
, 5E346AA22
, 5E346AA51
, 5E346CC18
, 5E346DD02
, 5E346EE21
, 5E346EE25
, 5E346EE27
, 5E346EE29
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346HH11
, 5E346HH31
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