特許
J-GLOBAL ID：200903067794122590
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161983
公開番号（公開出願番号）：特開平6-197282
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 高速電子シャッターモード時でもスミア特性がよく、高温時や低転送レート時にS/Nが劣化しないとともに、高速連続撮像ができる固体撮像装置を提供する。【構成】 N型シリコン基板1の上側に設けられたP-ウエル2に所定の間隔を開けて光電変換素子である複数のフォトダイオード3を設ける。1列のフォトダイオード3の両側のP-ウエル2に垂直転送部4a,4bを設ける。隣接する垂直転送部4a,4bとを分離するP+画素分離領域を設ける。上記N型シリコン基板1上に絶縁膜6を設けて、この絶縁膜6上に垂直転送部4a,4bを夫々覆うゲート電極7を設ける。このゲート電極7を覆う遮光メタル8,9を設けて、フォトダイオード3の上方に色フィルター10を配置する。そして、この色フィルター10の上方にマイクロレンズ11を配置する。
請求項（抜粋）：
1列の光電変換素子に対応した複数列の垂直転送部を有することを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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