特許
J-GLOBAL ID：200903067796764948
走査型顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059604
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253889
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 観察試料の最適な位置合わせ等の調整作業を、迅速、かつ、容易に実現でき、操作性の大幅な向上を可能とした走査型顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 ステージ11上に載置された試料B上に走査ユニット3により収束されたスポット光を走査することにより試料Bを観察する走査型顕微鏡装置において、画像取り込み手段31により前記試料Bに走査されるスポット光に基づく画像情報から前記試料Bの画像情報を取り込み、輝度算出手段32により取り込まれた画像情報の各ライン内の輝度値の分布を算出し、算出した輝度値を各ライン毎に記憶手段5に記憶し、この記憶手段5に記憶している前記各ライン毎の輝度値に基づいて、走査ライン選択手段36により繰り返し走査の際における試料画像取り込み時の走査ユニット3によるスポット光の走査ラインを選択するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置された試料上に収束光学手段により収束されたスポット光を走査することにより試料を観察する走査型顕微鏡装置において、前記試料に走査されるスポット光に基づく画像情報から前記試料の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込まれた画像情報の各ライン内の輝度値の分布を算出する輝度算出手段と、前記輝度算出手段により算出された輝度値を各ライン毎に記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶している前記各ライン毎の輝度値に基づいて、繰り返し走査の際における試料画像取り込み時の前記収束光学手段によるスポット光の走査ラインを選択する走査ライン選択手段と、を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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