特許

J-GLOBAL ID：200903067803453325

湿度センサ

発明者： 窪木 好昭 ,  竹林 優
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-189763
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004685
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 温度補償回路における直線性を高めることができ、低湿度で飽和特性を示し難い湿度センサを得る。【解決手段】 絶縁基板1の上にギャップを形成して相互に対向する複数の櫛歯部2a...をそれぞれ有する一対の電極2,2を設け、電極2及びギャップを感湿膜5で覆う。感湿膜5を次の化学式を有する感湿ポリマと水溶性セルロースエーテルからなる添加ポリマとの混合物から形成する。【化7】上記化学式において、R1〜R4はアルキル基であり、-(CH2)m-のmは6〜12である。添加ポリマの配合量は、感湿ポリマに対して10〜60重量%とする。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の上にギャップを介して対向する一対の電極が設けられ、前記一対の電極及び前記ギャップが感湿膜で覆われており、前記感湿膜が感湿ポリマと前記感湿ポリマの前記基板に対する接着性を増加させる添加ポリマとの混合物により形成されている湿度センサにおいて、前記感湿ポリマが次の化学式【化1】(上記化学式において、R1〜R4はアルキル基)を有し、前記-(CH2)m-のmは6〜12であり、前記添加ポリマが水溶性セルロースエーテルであり、前記添加ポリマの配合量が、前記感湿ポリマに対して10〜60重量%であることを特徴とする湿度センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/02

FI (4件)：

G01N 27/12 K ,  G01N 27/12 P ,  G01N 27/02 A ,  G01N 27/02 C

Fターム (28件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC03 ,  2G046BE08 ,  2G046BJ02 ,  2G046DB05 ,  2G046DD02 ,  2G046EB06 ,  2G046FA01 ,  2G046FE00 ,  2G046FE35 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF06 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060AG10 ,  2G060BB02 ,  2G060BB10 ,  2G060BD02 ,  2G060HA02 ,  2G060HB06 ,  2G060HC03 ,  2G060HC07 ,  2G060HE03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平2-024465
  
• 特開昭48-010589
  
• 特開昭63-243857
  
• 特開平3-137556