ポジ型感可視光樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202024
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045881
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】可視光線、特にアルゴンレーザ光に対して高感度で感光し、しかも高解像性および保存安定性に優れたポジ型感可視光樹脂組成物を提供するものである。【構成】テトラヒドロピラニル基あるいはテトラヒドロフルフリル基を少なくともひとつ有する高分子化合物と、前記高分子化合物と混ぜることによってアルカリに対して溶解抑制効果を示し、さらに酸によって容易に切断されカルボン酸となり前記高分子化合物のアルカリに対する溶解抑制効果をなくし、さらに前記高分子化合物の分解を促進する化合物と、光照射によって酸を発生する性質を持つジアリールヨードニウム塩と、ジアリールヨードニウム塩の光分解を分光増感する機能を有するp-ジアルキルアミノベンジリデン誘導体からなるポジ型感可視光樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)一般式1:【化1】(式中、Rは、2-テトラヒドロフルフリル基またはテトラヒドロピラニル基。)で表される構造単位を少なくとも一つ有する分子量千〜百万の範囲にある高分子化合物を1重量部と、(B)一般式2:【化2】(式中、Rはtert-ブチル、テトラヒドロピラニル基。nは1〜4。)で表される化合物を0.1〜0.5重量部と、(C)ジアリールヨードニウム塩を0.03〜0.3重量部と、(D)一般式3:【化3】(式中、R1 、R2 は低級アルキル基。Xは水素原子、フェニル基、アシル基、シアノ基、アンモニオ基またはアルコキシカルボニル基から選ばれた残基。Yはアシル基、シアノ基、アンモンニオ基またはアルコキシカルボニル基から選ばれた残基。nは0または1。)で表されるp-アミノベンジリデン誘導体を0.03〜0.3重量部とからなることを特徴とする感可視光樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 , B41C 1/05 , C08L101/08 , G03F 7/004 503 , G03F 7/029 , H01L 21/027

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