特許
J-GLOBAL ID:200903067805673888
半導体発光素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
植本 雅治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-144604
公開番号(公開出願番号):特開2001-144375
出願日: 2000年05月12日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】 GaPとGaAsとの間の格子定数を有する材料系からなる半導体発光素子において、製造工程が容易で歩留まりが高く、また、導波損失が少なく高出力化に有利な半導体発光素子を提供する。【解決手段】 半導体基板1上に、光を発生する活性層4と、活性層4よりもバンドギャップが大きくGaPとGaAsとの間の格子定数を有する半導体層2,3とを有し、半導体層2,3で活性層4を挟む構造を有する半導体発光素子において、半導体層3の一部に、AlxGayIn1-x-yPtAs1-t(0.8≦x≦1、0≦y≦0.2、0≦t≦1)層5を含み、AlxGayIn1-x-yPtAs1-t(0.8≦x≦1、0≦y≦0.2、0≦t≦1)層5の一部が選択酸化されて選択酸化層7として形成されている。
請求項(抜粋):
半導体基板上に、光を発生する活性層と、活性層よりもバンドギャップが大きくGaPとGaAsとの間の格子定数を有する半導体層とを有し、前記半導体層で前記活性層を挟む構造を有する半導体発光素子において、前記半導体層の一部に、AlxGayIn1-x-yPtAs1-t(0.8≦x≦1、0≦y≦0.2、0≦t≦1)層からなる被選択酸化層を含み、AlxGayIn1-x-yPtAs1-t(0.8≦x≦1、0≦y≦0.2、0≦t≦1)層からなる被選択酸化層の一部が選択酸化されて選択酸化層として形成されていることを特徴とする半導体発光素子。
IPC (3件):
H01S 5/227
, H01L 33/00
, H01S 5/343
FI (3件):
H01S 5/227
, H01L 33/00 B
, H01S 5/343
Fターム (28件):
5F041AA04
, 5F041AA41
, 5F041CA04
, 5F041CA05
, 5F041CA14
, 5F041CA34
, 5F041CA35
, 5F041CA38
, 5F041CA60
, 5F041CA64
, 5F041CA65
, 5F041CA74
, 5F041CB05
, 5F073AA09
, 5F073AA13
, 5F073AA45
, 5F073AA51
, 5F073AA53
, 5F073AA55
, 5F073AA71
, 5F073AA73
, 5F073AA74
, 5F073CA19
, 5F073CB08
, 5F073CB11
, 5F073DA05
, 5F073DA27
, 5F073DA35
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