特許
J-GLOBAL ID：200903067807444045
光学式変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010005
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196463
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】塵埃や水滴等の存在するような雰囲気中であっても、光の散乱や減衰の影響を受けることなく、光源を設置した測定対象物(観測点)の変位を高速に測定することができ、かつ、異なる観測点を物理的な位置の制約なしに、無限に配することができる光学式変位測定装置を提供する。【構成】光を用いて2つの物体間隔の変位を測定する光学式変位測定装置において、一方の物体に観測点となる光源200を設置し、他方の物体に、前記光源とは無接続、別体で、予め特定の位置関係に固定され、前記光源からの光を各々異なる受光軸で観測する2つの検出部110、120と、前記検出部出力を補正する補正回路130からなる検出器100を備え、前記光源200からの光を前記検出器100により観測し、2つの物体間隔の変位を測定する。
請求項（抜粋）：
一方の物体に光源を設置し、他方の物体に前記光源からの光を観測する検出器を設置し、前記光源からの光を前記検出器により観測し、2つの物体間隔の変位を測定する光学式変位測定装置であって、前記検出器は、前記光源と無接続、別体で、変位検出を行う方向と平行な受光軸を有する位置検出部と、前記受光軸と異なるもう1つの受光軸を有する変位検出部とが、所定の位置関係で予め固定された検出部と、前記検出部の検出出力の非直線性および位置ずれを補正する補正回路とから構成されることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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