特許
J-GLOBAL ID：200903067807802790
走査型プローブ顕微鏡及びその試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282126
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 観察すべき試料に制約を与えずに、ジャンプインの発生を防止しつつ、探針と試料表面との間の距離に応じた探針と試料表面との間の相互作用力を直接に精度良く得る。【解決手段】 カンチレバー1は、薄膜型アクチュエータを有するレバー部1bを備える。撓み制御部9は、信号処理回路8からのレバー部1bの撓み量を示す撓み検出信号に基づいて、カンチレバー1のレバー部1bの撓み量がゼロとなるように、前記薄膜型アクチュエータに駆動信号を与える。スキャナ制御部5が駆動信号をチューブ型スキャナ4に与え、徐々に試料3をカンチレバー1の探針1aに近づけた後に探針1aから遠ざけていく。このプロセス中、データ作成部10は、スキャナ制御部5からスキャナ制御部5に与えられる駆動信号と、撓み制御部9から前記薄膜型アクチュエータに与えられる駆動信号とを、互いに関連づけて順次取り込む。
請求項（抜粋）：
探針を先端側に有するレバー部であって、圧電特性又は電歪特性を持った薄膜を備えた薄膜型アクチュエータを有するレバー部と、該レバー部を支持する支持体と、を備えたカンチレバーと、前記支持体あるいは試料表面を該試料表面と略平行な面の方向に前記試料に対して相対的に移動させる手段と、前記支持体あるいは前記試料表面を前記試料表面と略垂直な方向に前記試料に対して相対的に移動させる手段と、前記レバー部の撓みを検出する撓み検出手段と、前記撓み検出手段からの検出信号に基づいて、前記レバー部の撓み量が所定量となるように前記薄膜型アクチュエータに駆動信号を与えて、前記レバー部の撓みを制御する撓み制御手段と、前記試料表面と略垂直な方向の前記試料に対する前記支持体の相対的な位置に応じたデータに関連づけて、前記駆動信号に応じた信号を計測データとして得る手段と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
