合成石英ガラス部材の製造方法および合成石英ガラス製造用バーナー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288110
公開番号（公開出願番号）：特開平7-138028
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明は径が 150mmφ以上で光学的に高品質な合成石英ガラス部材の製造方法およびこれに使用する合成石英ガラス製造用バーナーの提供を目的とするものである。【構成】本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、けい素化合物を直接火炎法によって火炎加水分解させて発生したシリカ微粒子を担体上に堆積し、溶融ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、バーナーの設定角度位置を制御することを特徴とするものであり、この合成石英ガラス製造用バーナーはバーナー構造が同心5重管、この5重管を囲繞する外殻管およびこの外殻管中に配置された複数のノズルからなるものとされており、この同心5重管の中心管には原料ガス、不活性ガスおよび支燃性ガスが、2重管と4重管には支燃性ガスが、3重管と5重管および外殻管には燃性ガスが供給され、複数のノズルには支燃性ガスが供給されるようにされていることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

断熱炉内でけい素化合物をバーナーに供給し、直接火炎によって合成シリカ微粒子を生成させ、これを耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化して合成石英ガラス部材を連続的に軸方向に一定の速度で製造する方法において、バーナーの設定角度位置を制御して合成シリカ微粒子を堆積させる溶融面の温度分布を均一に保つようにしてなることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (4件)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , F23D 14/22 , F23D 14/38

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-091035
特公平2-031010
特開昭58-204833

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