特許

J-GLOBAL ID：200903067813651265

反射率測定装置

発明者： 岡田 正明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-337455
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160671
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 被測定物がレンズなどの曲面を有する光学部材であっても、各位置の反射率を測定することができる反射率測定装置を提供する。【解決手段】 光源からの光を照射側光学系を介して、測定台に載置された被測定物に照射し、該被測定物12からの反射光を反射側光学系を介して受光器に入射させて反射光量を測定する反射率測定装置において、前記被測定物12に対する照射位置を変える照射位置変更手段(Xステージ15及び回転ステージ32)と、該照射位置変更手段により照射位置が変わった場合でも、前記受光器に反射光が入射されるように制御する入射方向制御手段(チルトステージ27)と、前記照射位置への入射光の焦点を合わせる焦点調整手段(Zステージ18)とを有する。

請求項（抜粋）：

光源からの光を照射側光学系を介して、測定台に載置された被測定物に照射し、該被測定物からの反射光を反射側光学系を介して受光器に入射させて反射光量を測定する反射率測定装置において、前記被測定物に対する照射位置を変える照射位置変更手段と、該照射位置変更手段により照射位置が変わった場合でも、前記受光器に反射光が入射されるように制御する入射方向制御手段と、前記照射位置への入射光の焦点を合わせる焦点調整手段とを有することを特徴とする反射率測定装置。