特許
J-GLOBAL ID:200903067815492300
感光性組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 信昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-317697
公開番号(公開出願番号):特開平11-143067
出願日: 1997年11月04日
公開日(公表日): 1999年05月28日
要約:
【要約】【課題】耐薬品性向上、現像液ラチチュード性の向上及び高感度性を有する感光性組成物を提供する。【解決手段】1)下記(1)〜(3)からなるフェノール成分及びアルデヒド類又はケトン類を縮合させた樹脂であり、かつ、この樹脂の重水素化ジメチルスルホキシド溶液の13C-NMRスペクトルにおいて、23.0〜31.0ppmまでのピーク積分値をA、23.0〜37.0ppmまでの積分値をB、とした場合に、X=A/Bの値がX≧0.6であることを特徴とするアルカリ可溶性樹脂、2)赤外光に吸収を有する染料、3)活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、4)酸により分解し得る結合部又は酸により架橋する基を有する化合物、からなる感光性組成物である。 フェノール成分 (1)フェノール類 0〜50モル% (2)m-アルキルフェノール類 20〜80モル% (3)p-アルキルフェノール類 20〜80モル%
請求項(抜粋):
1)下記(1)〜(3)からなるフェノール成分及びアルデヒド類又はケトン類を縮合させた樹脂であり、かつ、この樹脂の重水素化ジメチルスルホキシド溶液の13C-NMRスペクトルにおいて、23.0〜31.0ppmまでのピーク積分値をA、23.0〜37.0ppmまでの積分値をB、とした場合に、X=A/Bの値がX≧0.6であることを特徴とするアルカリ可溶性樹脂、2)赤外光に吸収を有する染料、3)活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、4)酸により分解し得る結合部又は酸により架橋する基を有する化合物、からなる感光性組成物。 フェノール成分 (1)フェノール類 0〜50モル% (2)m-アルキルフェノール類 20〜80モル% (3)p-アルキルフェノール類 20〜80モル%
IPC (3件):
G03F 7/023 511
, G03F 7/038 601
, G03F 7/039 601
FI (3件):
G03F 7/023 511
, G03F 7/038 601
, G03F 7/039 601
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