特許

J-GLOBAL ID：200903067815832046

検査用基板、検査用基板の製造方法、検査用基板の評価方法、位置検出装置の製造方法、位置検出装置及び投影露光装置

発明者： 長山 匡 ,  中村 綾子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-004906
公開番号（公開出願番号）：特開2002-213916
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 コマ収差、球面収差、光束ケラレの量を正確に計測することが可能な検査用基板を提供することである。【解決手段】 検査用基板の位相パターンWMであって、位相パターンWMの凸部と凹部との段差により生じる位相差dは、位置検出装置の照明光の波長をλとするとき、例えば(λ/4)(2n+1)-λ/20≦d≦(λ/4)(2n+1)+λ/20(ただしnは整数)の条件を満たし、位相パターンWMの凸部と凹部とのデューティ比(l/s)は、49/51≦l/s≦51/49の条件を満たし、位相パターンWMの凸部の左側のエッジ角度Aと右側のエッジ角度Bの対称性は、-20°≦A-B≦20°の条件を満たし、位相パターンWMの凸部の左側のエッジ角度A及び右側のエッジ角度Bは、70°≦A≦110°、70°≦B≦110°の条件を満たす。

請求項（抜粋）：

位置検出装置の検査に用いるために段差を有する位相差パターンが形成された検査用基板であって、前記パターンの凸部と凹部との段差により生じる位相差dは、前記位置検出装置の照明光の波長をλとするとき、下記の条件を満たすと共に、前記段差パターンの凸部と凹部とのデューティ比は、凸部の幅をl、凹部の幅をSとするとき、下記の条件を満たすことを特徴とする検査用基板。(λ/4)(2n+1)-λ/10≦d≦(λ/4)(2n+1)+λ/10(ただしnは整数)49/51≦l/s≦51/49

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 C ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 S

Fターム (16件)：

2F065AA54 ,  2F065BB28 ,  2F065CC20 ,  2F065EE08 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065PP12 ,  2F065RR09 ,  2F065UU09 ,  5F046FA17 ,  5F046FB17 ,  5F046FB20

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 樹脂製輪止め構造物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169387   出願人：トヨタ自動車株式会社, 豊臣機工株式会社, 豊栄運輸株式会社