特許

J-GLOBAL ID：200903067816931617

軟X線を利用した除電装置

発明者： 和泉 健吉 ,  菅野 功 ,  石川 昌義
出願人/特許権者： シシド静電気株式会社 ,  浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 辰彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-181639
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045695
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 照射窓7の汚れによる軟X線量の減少を防止すると共に、軟X線により生成された空気イオンを帯電体に効果的に作用させて除電性能を高める。【構成】 該除電装置は、軟X線照射装置2の外面に沿って設けられた空気流通路3と、エアフィルタ12を介して該空気流通路3に強制的に空気を供給する送風ファン10とを備える。空気流通路3は、供給された空気が軟X線照射装置2の照射窓7を覆って流れ込むように形成する。該照射窓7の前方に、照射窓7に流れ込んだ空気が軟X線の照射方向と同一方向に噴出される空気噴出口14を形成する。

請求項（抜粋）：

帯電体に軟X線を照射する軟X線照射部を有する軟X線照射装置を備え、前記軟X線により生成された正,負のガスイオンによって該帯電体に帯電した電荷を中和するようにした除電装置において、前記軟X線照射部を覆うようなガスの流れを形成するガス流形成手段を備えたことを特徴とする軟X線を利用した除電装置。