特許
J-GLOBAL ID：200903067817379810
周期性パターンの検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-280709
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111483
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 シャドーマスク等の周期性パターン製品を連続的に移動させながら、その周期性パターンを検査できるようにする。【解決手段】 ラインセンサカメラ10と、該カメラ10に対向配置された光源12と、同カメラ10と光源12の間に検査対象物13を移動させる上流側と下流側のベルトコンベア14A、14Bと、上記ラインセンサカメラ10を所定のスキャンレートで走査して、移動する周期性パターン製品の透過光像をワーク画像として入力すると共に、検査対象物13が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラ10を、飽和受光量以下のスキャンレートで走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記ワーク画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて周期性パターンを検査する画像処理装置16とを備えている。
請求項（抜粋）：
ラインセンサカメラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させると共に、ラインセンサカメラを所定のスキャンレートで走査して該製品の透過光像をワーク画像として入力し、該ワーク画像に基づいて周期性パターンを検査することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
Fターム (13件)：
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051BB07
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051CD04
, 2G051CD07
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA14
