特許
J-GLOBAL ID：200903067817723562
スプリングプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339077
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178772
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 プランジャの移動に拘わらず、安定した電気的接続を維持する。【解決手段】 プランジャ11の先端部11aを被検査体の電極20に押し付けると、プランジャ11は、バーレル12の内部に向けて移動する。タケノコバネ13の内周側はプランジャ11に固定されており、外周側はバーレル12に固定されている。そこで、プランジャ11の移動は、タケノコバネ13の内側と外側のずれで吸収される。そして、プランジャ11はタケノコバネ13の力によって、電極20に押し付けられるが、移動に伴い接続部分の相対的移動はないため、電気的接続を安定して維持できる。
請求項（抜粋）：
先端部分が、被検査体に押し付け接触される棒状のプランジャと、プランジャ部をその先端側を突出させて収容する管状のバーレルと、全体として螺旋状に巻かれ、外径側がバーレルの内周部に固定されると共に内径側がプランジャの外周部に固定され、プランジャをバーレルに対し進退自在に弾性支持するタケノコバネと、を有することを特徴とするスプリングプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 C
, H01L 21/66 B
