特許

J-GLOBAL ID：200903067824356079

ステージ装置およびそれを用いた露光装置

発明者： 宮島 義一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-019522
公開番号（公開出願番号）：特開2002-222758
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 ステージ可動部がステップ移動した時に発生するギャップ変動量を低減できるステージ装置、および該ステージ装置を備えてスループットおよび露光精度の向上が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置は、原版および基板の両方または基板を搭載して移動自在な移動ステージと、該移動ステージをステージ定盤および/またはヨーガイド6に対し支持し案内する静圧パッド10と、該移動ステージを該ステージ定盤および/またはヨーガイド6の間の吸引力およびギャップ量の少なくとも一方を制御する手段(吸引与圧マグネット11、ピエゾ12、ギャップセンサ13等)を有する。

請求項（抜粋）：

移動ステージと、該移動ステージを所定の案内面に対しギャップを介して支持する静圧パッドと、該移動ステージを前記案内面に対し吸引与圧する吸引与圧手段とを有するステージ装置において、前記吸引与圧手段の吸引与圧力を制御する吸引与圧力制御手段を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (22件)：

5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA20 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031LA10 ,  5F031MA21 ,  5F031MA27 ,  5F031PA06 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC15 ,  5F046CC18