特許
J-GLOBAL ID：200903067829994952
透過電子顕微鏡用試料の作製方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-138101
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327514
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、多層膜の種類に関わらず、多層膜中のある特定の膜を自由にかつ正確に選択することを可能とし、さらに膜中の特定の深さにある平面を同一膜内において厚さ方向に自由にかつ正確に選択できる透過電子顕微鏡用試料の作製を可能とする。【構成】 本発明によると、例えば多層膜の試料において、観察したい平面が前記試料の表面側に露出するまで表面分析法でモニターしながらイオンビームによりエッチングする工程と、観察したい平面が前記試料の裏面側に露出するまでイオンビームによりエッチングする工程とを含む透過電子顕微鏡用試料の作製方法が提供される。
請求項（抜粋）：
多層膜の試料において、観察したい平面が試料の表面側に露出するまで表面分析法でモニターしながらイオンビームによりエッチングする工程と、観察したい平面が試料の裏面側に露出するまでイオンビームによりエッチングする工程とを含む透過電子顕微鏡用試料の作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/32 B
, G01N 1/28 F
