特許

J-GLOBAL ID：200903067836007380

セラミックコーティング方法

発明者： ローレン アンドリュー ハルスカ
出願人/特許権者： ダウ コーニング コーポレーション
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-800053
公開番号（公開出願番号）：特開平6-211583
出願日： 1990年12月25日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】 セラミック又はセラミック類似のコーティングを基板上に形成する急速、低温方法【構成】 溶剤と1種又はそれ以上の加水分解したプレセラミック・シリコン・アルコキシド及び、随意には、酸化セラミック先駆体を含む溶液で、基板をコーティングする。該溶剤を蒸発させて、それによってプレセラミック・コーティングを基板上に堆積する。被覆された基板を、オゾンの存在下で、約40乃至約400°Cの間の温度に昇温すると、セラミック又はセラミック類以のコーティングがセラミック化する。このようにして生成したコーティングの上には更に保護膜をコーティングできる。

請求項（抜粋）：

セラミック又はセラミック類似のコーティングを基板上に形成する方法において、前記基板を、溶剤と1種又はそれ以上の加水分解又は部分的に加水分解したプレセラミック・シリコン・アルコキシドを含む溶液でコーティングする工程であって、前記プレセラミック・シリコン・アルコキシドの組成式がRxSi(OR)4-xであり、Rが1〜20炭素原子を有するアルキル基、アリール基、アルケニル基又はアルキニル基、xが0〜2である工程と、前記溶剤を蒸発させて、前記基板にプレセラミック・コーティングを堆積する工程と、前記コーティングを施した基板を、オゾンの存在下で、約40乃至約400°Cの間の温度に昇温して、前記プレセラミック・コーティングをセラミック化する工程とを含むことを特徴とするコーティング方法。

IPC (3件)：

C04B 41/87 ,  B05C 1/00 ,  C07F 7/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-289415
  
• 特開平2-258646
  
• 特開平1-179423
  
• 特開昭60-065708