特許

J-GLOBAL ID：200903067836593920

感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法

発明者： 塚田 勝重 ,  大友 聡 ,  山崎 宏 ,  天野倉 仁 ,  中野 昭夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172478
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036258
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】 凹凸基板に対する被覆性を改良した感光性エレメントを提供する。【構成】 ポリプロピレンフィルム(a)上に感光性樹脂組成物の層(b)及び表面にカルボニル基を有するポリエチレンフィルム(c)を順次形成してなり、かつ(a)と(b)との層間接着力が(b)と(c)との層間接着力よりも小さいことを特徴とする感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法。

請求項（抜粋）：

ポリプロピレンフィルム(a)上に感光性樹脂組成物の層(b)及び高伸長性の可撓性フィルム(c)を順次形成してなり、かつ(c)が(b)側表面にカルボニル基を有し、(a)と(b)との層間接着力が、(b)と(c)との層間接着力よりも小さいことを特徴とする感光性エレメント。

IPC (6件)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 27/00 ,  G03F 7/09 ,  G03F 7/30 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/28