ウェーハの形状評価方法及びウェーハ並びにウェーハの選別方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280500
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086646
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの形状品質を従来のSFQR等とは違う観点から評価するウェーハの形状評価方法及び露光装置などでトラブルの少ないウェーハ並びにそのような良好な品質を有するウェーハの選別方法を提供する。【解決手段】ウェーハの中心部からエッジ部までのウェーハ形状プロファイルを所定の角度間隔でウェーハ全周にわたって複数求め、各プロファイル毎に基準線を算出するための第1の領域をウェーハ中央側に設定し、該第1の領域における基準線を算出し、更に該第1の領域外のウェーハ外周側に第2の領域を設定し、該第1の領域で算出された基準線を該第2の領域まで外挿し、該第2の領域の形状(実測値)と第2の領域内における該基準線(基準値)との差(実測値-基準値)を解析し、この値の最大値を表面特性A及び最小値を表面特性Bとして算出し、これらウェーハ全周にわたって得られた複数の表面特性A及び表面特性Bからウェーハの外周部形状均一性を評価するようにした。

請求項（抜粋）：

ウェーハの中心部からエッジ部までのウェーハ形状プロファイルを所定の角度間隔でウェーハ全周にわたって複数求め、各プロファイル毎に基準線を算出するための第1の領域をウェーハ中央側に設定し、該第1の領域における基準線を算出し、更に該第1の領域外のウェーハ外周側に第2の領域を設定し、該第1の領域で算出された基準線を該第2の領域まで外挿し、該第2の領域の形状(実測値)と第2の領域内における該基準線(基準値)との差(実測値-基準値)を解析し、この値の最大値を表面特性A及び最小値を表面特性Bとして算出し、これらウェーハ全周にわたって得られた複数の表面特性A及び表面特性Bからウェーハの外周部形状均一性を評価することを特徴とするウェーハの形状評価方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01B 11/30 101

FI (3件)：

H01L 21/66 J , H01L 21/66 P , G01B 11/30 101 A

Fターム (24件)：

2F065AA47 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065GG05 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ18 , 2F065QQ42 , 4M106AA01 , 4M106BA10 , 4M106BA20 , 4M106CA24 , 4M106CA48 , 4M106DH01 , 4M106DH03 , 4M106DH11 , 4M106DH31 , 4M106DH60 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21

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