ポリイミド系光硬化性樹脂組成物並びにパターン形成方法及び基板保護用皮膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井光夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-293029
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133757
出願日： 2005年10月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】20ミクロンを越えるような厚膜で微細なパターン形成を行うことが可能であり、保護膜としての信頼性に優れた皮膜を提供可能な感光性樹脂組成物および硬化皮膜を提供する。【解決手段】(A)有機溶剤に可溶なポリイミド骨格を有する化合物において、その分子中に1級アルコールをアルコール当量3500以下となるように有する重量平均分子量5,000から500,000のポリイミド系高分子化合物、(B)ホルマリン変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、あるいは、1分子中に平均して2個以上のメチロール基またはアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物のいずれか1種あるいはその混合物、(C)240nmから500nmの範囲の光照射によって酸を発生する光酸発生剤を含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)有機溶剤に可溶なポリイミド骨格を有する化合物において、その分子中に1級アルコールをアルコール当量3500以下となるように有する重量平均分子量5,000から500,000のポリイミド系高分子化合物、(B)ホルマリンまたはホルマリンーアルコールにより変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、あるいは、1分子中に平均して2個以上のメチロール基またはアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物のいずれか1種あるいはその混合物、(C)240nmから500nmの範囲の光照射によって酸を発生する光酸発生剤を含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/038 , G03F 7/037 , G03F 7/004 , G03F 7/075 , H01L 21/027 , C08L 79/08 , C08L 61/22 , C08K 5/34 , C08K 5/13

FI (9件)：

G03F7/038 601 , G03F7/037 501 , G03F7/004 501 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R , C08L79/08 Z , C08L61/22 , C08K5/34 , C08K5/13

Fターム (25件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB25 , 2H025CB33 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025CC03 , 2H025CC17 , 2H025FA12 , 4J002CC162 , 4J002CC182 , 4J002CM041 , 4J002EJ006 , 4J002EU186 , 4J002GP03

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭49-115541号公報
特開昭55-45746号公報
特開昭54-145794号公報

全件表示

前のページに戻る