薄板金属材料のエッチング工程管理方法およびエッチング製品の品質保証方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331405
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158864
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】シャドウマスクやリードフレームのような薄板金属材料のエッチング工程の管理方法およびエッチング製品の品質保証方法を提供する。【解決手段】薄板金属材料エッチング製品のエッチング部形状を走査型レーザー顕微鏡で測定する工程と、測定データを画像処理演算により3次元画像として画像表示する工程と、当該画像表示の結果に基づきエッチング工程のプロセス条件を制御することにより迅速かつ適切な工程管理がなされる。また、当該画像表示データをデジタルデータとして保存することにより、エッチング製品の品質保証に役立てることができる。

請求項（抜粋）：

薄板金属材料のエッチング工程管理方法において、金属エッチング製品のエッチング部形状を走査型レーザー顕微鏡で測定する工程と、測定データを画像処理演算により3次元画像として画像表示する工程と、当該画像表示の結果に基づき工程のプロセス条件を制御することを特徴とする薄板金属材料のエッチング工程管理方法。

IPC (4件)：

C23F 1/08 , G01B 11/24 , H01J 9/14 , H01L 23/50

FI (4件)：

C23F 1/08 , G01B 11/24 F , H01J 9/14 G , H01L 23/50 A

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