特許
J-GLOBAL ID：200903067845321674
非接触型変位または歪計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300231
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151515
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 光を用いた非接触型でありながら、簡単な構成のもとに高温下での計測を正確に行うことのできる変位または歪計を提供する。【構成】 被測定試料Wに光を照射する光学系1と、その光の被測定試料Wによる反射光を入射する光検出手段2と、その光検出出力を用いて被測定試料Wの変位または歪を算出する演算部3を備えた装置において、被測定試料Wの周囲を覆い、かつ、少なくとも一部が光透過性部材によって形成された筒体4を備え、光学系1および光検出手段2はその筒体4の外部に配置した構成とする。
請求項（抜粋）：
被測定試料に光を照射する光学系と、その光の被測定試料による反射光を入射する光検出手段と、その光検出手段の出力を用いて被測定試料の変位または歪みを算出する演算部を備えた装置において、上記被測定試料の周囲を覆い、かつ、少なくとも一部が光透過性部材によって形成された筒体を備え、上記光学系および光検出手段はその筒体の外部に配置されていることを特徴とする非接触型変位または歪計。
IPC (2件)：
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