特許
J-GLOBAL ID：200903067846440243

原子間力顕微鏡

発明者：
根岸 真人

根岸 真人 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-038779
公開番号（公開出願番号）：特開2007-218707
出願日： 2006年02月16日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。【解決手段】プローブ22の反射面で計測光を反射させ、プローブ22と被測定物1の間に作用する原子間力を利用して被測定物1の表面形状を測定する。プローブ22を駆動する第1のスキャナ10とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第2のスキャナ26を設けて、第1、第2のスキャナ10、26の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第1、第2のスキャナ10、26を同期的に制御することで、プローブ22に光学系の焦点を追従させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反射面を有するプローブと、光源からの計測光を前記プローブの前記反射面に集光させるための光学系と、前記光学系を保持するハウジングと、前記ハウジングに保持され、前記プローブをX、Y、Z方向に駆動するためのプローブスキャナと、前記プローブの前記反射面で反射した前記計測光を検出する光検出手段と、前記光学系の焦点位置を移動させるための焦点位置移動手段と、前記焦点位置移動手段を前記プローブスキャナと同期的に制御する制御手段と、を有し、前記焦点位置移動手段によって前記光学系の前記焦点位置を移動させながら、前記光検出手段の出力に基づいて前記プローブスキャナを駆動し、前記プローブの変位を計測することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30
Fターム (10件)：
2F069AA60 ,  2F069DD12 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 米国特許第5560244号明細書
  • 原子間力顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-114924   出願人：オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (4件)
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