特許
J-GLOBAL ID：200903067857485591
熱式流量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176806
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026707
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 経時抵抗変化の原因たる抵抗パターンのターン部における膜のクラック発生を防止した熱式流量センサを提供することを目的とする。【構成】 矩形平板状基板102の表面に抵抗体101をパターン形成した直熱型の熱式流量センサであって、該抵抗体101は複数の直線状部と、隣接する該各直線状部の端部を交互に結ぶ円形状ターン部から構成され、前記基板102の長辺とほぼ平行に該直線状部の各抵抗体を配置し、該円形状ターン部を該基板の短辺側に配置する。また、該直線状部の各抵抗体を一本おきに互いに少し傾け該直線状部の間隔の広い方に該円形状ターン部を形成する。
請求項（抜粋）：
矩形平板状基板表面に抵抗体をパターン形成しヒータ部兼温度検出部としてなる熱式流量センサにおいて、該抵抗体は複数の直線状部と、隣接する各該直線状部の端部を交互に結ぶを円形状ターン部から構成され、該直線状部の各抵抗体を前記基板の長辺とほぼ平行に配置し、該円形状ターン部を該基板の短辺側に配置したことを特徴とする熱式流量センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
