特許
J-GLOBAL ID：200903067865836433
走査型トンネル顕微鏡装置及びそれによる測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172509
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 STMにおいて、サーボスキャン法と退避スキャン法とを合理的に切り分けて使うようにしたい。【構成】 測定点数一定のもとでの測定範囲(又は測定時間)の大小に応じて、サーボスキャン法と退避スキャン法との切り分けを行い、測定する。
請求項（抜粋）：
走査型トンネル顕微鏡による被検体表面形状を測定する測定方法において、測定点数一定のもとでの測定範囲(又は測定時間)の大小に応じ、サーボスキャン法と退避スキャン法とを切り換えて測定を行うことを特長とする走査型トンネル顕微鏡装置による測定方法。
IPC (2件)：
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