弾性表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：並川啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158265
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008681
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】ストレスマイグレーションに対して充分な耐性を有し、かつ、微細加工の容易な電極構成材料を用いた弾性表面波装置を提供する。【構成】圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、ストレスマイグレーションを抑制するに充分な量の少なくとも1種類のランタノイド元素を含有するアルミニウムからなるものである。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、ストレスマイグレーションを抑制するに充分な量の少なくとも1種類のランタノイド元素を含有するアルミニウムからなることを特徴とする弾性表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-064514 出願人：松下電器産業株式会社

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