検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095747
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281051
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】短時間で2値レチクル内のすべての領域のシフターの位相差量の欠陥を検査し、加えて異物などの露光に支障を来たす、塵埃、低段差異物などの汚染物の検出も同時に行え、またシフターなしレチクルに対しては異物検査装置として使用できる、レチクルの欠陥検査装置を得ることを目的とする。【解決手段】透過振幅微分像、透過強度微分像、反射強度微分像の内少なくとも1つの像を画像化し得る第1の顕微鏡手段と、透過振幅微分像、透過強度微分像、反射強度微分像を表す独立に光電変換された透過振幅微分信号、透過強度微分信号、反射強度微分信号を生成する、第1の信号化手段光電変換手段と、透過振幅微分信号、透過強度微分信号、反射強度微分信号の相対的な強度比を調整し得る信号強度調整手段を有し、強度調整手段によって相対的な強度を調整した後に、これらの信号強度に基ずいて誤差信号を算出する。

請求項（抜粋）：

基板の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、透過振幅微分像、透過強度微分像、反射強度微分像の内少なくとも1つの像を画像化し得る第1の顕微鏡手段と、前記透過振幅微分像、前記透過強度微分像、前記反射強度微分像を表す独立に光電変換された透過振幅微分信号、透過強度微分信号、反射強度微分信号を生成する、第1の信号化手段光電変換手段と、前記透過振幅微分信号、前記透過強度微分信号、前記反射強度微分信号の相対的な強度比を調整し得る信号強度調整手段を有し、前記強度調整手段によって相対的な強度を調整した後に、これらの信号強度に基ずいて誤差信号を算出し、該誤差信号に基ずいて主に低段差の異物を検出し、さらに、前記透過暗視野像、前記反射暗視野像の少なくとも一方を画像化し得る第2の顕微鏡手段と、前記透過暗視野像、前記反射暗視野像を表す透過暗視野信号、反射暗視野信号を生成する、第2の信号化手段を有し、前記透過暗視野信号、反射暗視野信号の少なくとも一方を用いて主に塵埃異物を検出し、低段差の異物と塵埃異物の両方を検出可能としたことを特徴とする検査装置

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