特許
J-GLOBAL ID:200903067869621466
試料冷却ノズル
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 寿武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-115833
公開番号(公開出願番号):特開平8-304242
出願日: 1995年05月15日
公開日(公表日): 1996年11月22日
要約:
【要約】【目的】 外管3の先端開口部における乾燥媒体の気流の乱れや外気の回り込みを防止し、内管1等の先端部への霜の付着を防止して、低温の冷却媒体を効率的に試料に吹き付け可能とする。【構成】 内管1の先端開口部から冷却媒体を噴出するとともに、内管1の外周に所定の間隔をあけて同軸状に真空断熱管2を設け、この真空断熱管2と内管1との間に真空の断熱空間6を形成する。さらに真空断熱管2の外周に所定の間隔をあけて外管3を同軸状に設け、この外管3の先端開口部から乾燥媒体を噴出させる。この乾燥媒体の噴出する先端開口部において、真空断熱管2を内管1の先端部に向かって直径が小さくなるテーパ面8とする。
請求項(抜粋):
先端開口部から冷却媒体を噴出する内管と、この内管の外周に所定の間隔をあけて同軸状に設けられるとともに先端を前記内管の先端とほぼ同一の箇所で閉塞した真空断熱管と、この真空断熱管の外周に所定の間隔をあけて同軸状に設けられ、先端開口部を前記内管の先端近傍に位置決めするとともにこの先端開口部から乾燥媒体を噴出させる外管とを備え、かつ、前記真空断熱管の先端周辺部を前記内管の先端部に向かって直径が小さくなるテーパ面としたことを特徴とする試料冷却ノズル。
IPC (3件):
G01N 1/28
, F25D 3/10
, G01N 23/20
FI (3件):
G01N 1/28 K
, F25D 3/10 D
, G01N 23/20
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