特許

J-GLOBAL ID：200903067874929541

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： 西尾 徹也 ,  林 伸明 ,  安川 晶子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-007250
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207893
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】μm単位の微細なパターンを形成することができ、さらにパターン形状の側面部分における垂直性に優れ、パターン頂上部の平坦面を曲面化できる適度な熱流動性を有する感光性樹脂組成物により、広い視野角で良好な反射特性が得られるパターン形状を形成する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、感光性酸発生剤及び架橋剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂成分として、軟化温度が134°C以上、230°C以下の低分子量のフェノール樹脂を含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)光酸発生剤及び(3)架橋剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、前記(1)成分におけるアルカリ可溶性樹脂として、軟化温度が134°C以上、250°C以下の低分子フェノール樹脂成分を含有させたことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 601 ,  C08G 8/20 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/038 601 ,  C08G 8/20 Z ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (15件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB28 ,  2H025CB55 ,  2H025CB59 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J033CA14 ,  4J033HB10