特許

J-GLOBAL ID：200903067889865531

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 阿部 修也
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196594
公開番号（公開出願番号）：特開2003-011359
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 滴吐出特性がばらつく。【解決手段】 対向電極22上に振動板15とのギャップを形成するギャップスペーサ部24を設け、ギャプスペーサ部24及び対向電極22表面にボロン及び/又は燐を含むシリコン酸化膜25を形成した。

請求項（抜粋）：

インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する対向電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記対向電極若しくは対向電極材料上に前記振動板とのギャップを形成するギャップスペーサ部を設け、このギャプスペーサ部及び前記対向電極表面にボロン及び/又は燐を含むシリコン酸化膜を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (13件)：

2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AF99 ,  2C057AG02 ,  2C057AG54 ,  2C057AG91 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP51 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02