光プローブおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087050
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281658
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】光プローブの先鋭化したコーン部を覆う遮光性被膜に微小開口部を容易な方法で形成する。微小開口部を透過する光のコントラストが向上させ、空間分解能を良くする。遮光性被覆の耐熱性を向上させる。【解決手段】コア13の一端に頂点部24を持つコーン部15を有する光ファイバ11を用意し、コーン部15に遮光性被膜を形成しこれを覆う。頂点部24を遮光性被膜17から露出させる微小開口部30を遮光性被膜17に形成するように、コーン部15と、遮光性被膜17より固くコア13より軟らかい加工面20とを互いに相対的に押し付けることにより光プローブを製造する。押し付け工程後に、エッチングにより微小開口部30の大きさを調節する。遮光性被膜17は高融点材料を使用する。微小開口部30の遮光性被膜17の膜厚が押し付け工程による塑性変形により、遮光性被膜17の他の部分より厚い。

請求項（抜粋）：

コアの一端に頂点部を有するコーン部を持つ光ファイバを用意する工程と、上記コアの先端部に遮光性被膜を形成し、これを覆う工程と、遮光性被膜より固く、コアより軟らかい加工面を用意する工程と、上記光ファイバの上記コーン部の頂点部を上記遮光性被膜から露出させる微小開口部を上記遮光性被膜に形成するように、上記コーン部と上記加工面とを互いに相対的に押し付ける工程を備えたことを特徴とする光プローブの製造方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G02B 6/10 , G11B 7/135

FI (3件)：

G01N 37/00 E , G02B 6/10 D , G11B 7/135 A

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