特許

J-GLOBAL ID：200903067891712904

位置合わせ方法及びパラメータ選択方法

発明者： 萩庭 邦保
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-001599
公開番号（公開出願番号）：特開2003-203846
出願日： 2002年01月08日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】1種類のアライメント検出装置のみで、高精度にアライメント(位置合わせ)を行うことができる位置合わせ方法を提供する。【解決手段】位置合わせを行おうとする対象物上のアライメントマーク位置を計測して対象物の位置合わせを行うための位置合わせ方法であって、対象物上のアライメントマークを検出し、検出されたマーク情報に基づいて前記アライメントマークの位置データを求め(S3)、マーク情報に基づいてアライメントマークの特徴量を抽出し(S4)、抽出されたアライメントマークの特徴量に基づいて位置データの補正値を求め(S5)、この補正値を用いて補正された位置情報に基づいて対象物の位置合わせを行う(S8)。

請求項（抜粋）：

位置合わせを行おうとする対象物上のアライメントマーク位置を計測して前記対象物の位置合わせを行うための位置合わせ方法であって、前記対象物上のアライメントマークを検出し、検出されたマーク情報に基づいて前記アライメントマークの位置データを求め、前記マーク情報に基づいて前記アライメントマークの特徴量を抽出し、抽出されたアライメントマークの特徴量に基づいて前記位置データの補正値を求め、該補正値を用いて補正された位置情報に基づいて前記対象物の位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 521

Fターム (5件)：

5F046EB01 ,  5F046ED01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-294015
  
• 位置合わせ装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-164230   出願人：キヤノン株式会社