特許

J-GLOBAL ID：200903067897034576

感放射線性樹脂組成物

発明者： 西村 功 ,  遠藤 昌之
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131948
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319593
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ性水溶液で現像でき、高解像度、高感度であり、しかも、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸特性とともに、従来これらの特性と同時に実現することが困難であった低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物および(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合、(B)、放射線の照射を受けて酸を発生する酸発生化合物、(C)、架橋性化合物並びに(D)、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物および(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合体、(B)、放射線の照射を受けて酸を発生する酸発生化合物、(C)、架橋性化合物並びに(D)、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/038 601 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-210641   出願人：大日本インキ化学工業株式会社
• 特開平4-345609
  
• 特開平4-279612
  
• 特開平3-103410