マイクロモータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-186244
公開番号（公開出願番号）：特開平8-237971
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】従来のマイクロモータより高い速度、高い駆動力及びより小さい最小ステップサイズを有するマイクロモータを提供する。【構成】物体に対して運動を与える圧電マイクロモータは、第1及び第2長手エッジ、第1及び第2短手エッジ、前面及び裏面、該前面及び裏面に接続された電極を有する第1及び第2圧電プレートと、第1短手エッジの近傍の一端で第1長手エッジに取り付けられ、物体の表面に係合するセラミックスペーサとを含む。第1圧電プレートの第1短手エッジは第2圧電プレートの第1短手エッジにほぼ平行でかつ近接している。弾性力が各プレートの一部に印加され、セラミックスペーサを物体の表面に押圧する。電圧源は少なくとも幾つかの電極に励起電圧を印加する。

請求項（抜粋）：

第1及び第2長手エッジ、第1及び第2短手エッジ、前面及び裏面、該前面及び裏面に接続された電極を有する第1及び第2圧電プレートと、第1短手エッジの近傍の一端で第1長手エッジに取り付けられ、物体の表面に係合するセラミックスペーサと、各プレートの一部に印加され、セラミックスペーサを物体の表面に押圧する弾性力源と、少なくとも幾つかの電極に励起電圧を印加する電圧源とからなり、第1圧電プレートの第1短手エッジは第2圧電プレートの第1短手エッジにほぼ平行でかつ近接していることを特徴とする、物体に対して運動を与える圧電マイクロモータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 , H01L 41/09

FI (2件)：

H02N 2/00 C , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭52-029192
特開昭60-176471
特開平4-145877

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