特許
J-GLOBAL ID：200903067904216987
漏洩検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007262
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196797
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 逆拡散型ヘリウムリークディテクターにより短時間のサイクルタイムで正確な漏洩検査を行える装置を提供すること【解決手段】 テストチャンバー1に接続されるテストポート10に連通した配管11と、逆拡散型ヘリウムリークディテクター12を構成するターボ分子ポンプ13の排気口に連通した接続管14とを油回転ポンプ等の補助排気ポンプ15に接続し、該補助排気ポンプにより該配管内の排気と該ターボ分子ポンプの排気の補助を行う装置に於いて、該配管に該テストポートから該補助排気ポンプへと排気するドラッグ分子ポンプ17を介在させた。
請求項（抜粋）：
テストチャンバーに接続されるテストポートに連通した配管と、逆拡散型ヘリウムリークディテクターを構成するターボ分子ポンプの排気口に連通した接続管とを油回転ポンプ等の補助排気ポンプに接続し、該補助排気ポンプにより該配管内の排気と該ターボ分子ポンプの排気の補助を行う装置に於いて、該テストポートと該補助排気ポンプとの間にドラッグ分子ポンプを介在させたことを特徴とする漏洩検査装置。
FI (2件)：
G01M 3/20 D
, G01M 3/20 E
