冷却ブロック及びプラズマ処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-048956
公開番号（公開出願番号）：特開2007-227789
出願日： 2006年02月24日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：

【課題】プラズマ処理に用いられるプラズマを発生するための電極を構成する冷却ブロックにおいて、電極に要求される機能を満たしながら、腐食を抑えて、使用寿命の長い冷却ブロックを提供すること。【解決手段】各々アルミニウムからなり、少なくともそれらの一方に冷却液の流路形成用の凹部が加工されている第1の母材及び第2の母材を、両者の間に亜鉛を介在させた状態で酸素を含む加熱雰囲気下で接合することにより、亜鉛がアルミニウム中に拡散された拡散接合層と亜鉛酸化膜からなる防食層とが同時に形成されることにより冷却ブロックを形成する。また亜鉛酸化膜中の亜鉛の量は、1m2当たり30g以上であることが好ましく、さらに第1の母材及び第2の母材の間には、例えばニッケル等のろう材を介在させるようにしてもよい。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プラズマ処理に用いられるプラズマを発生させるための電極を構成し、内部に冷却液の流路を備えた冷却ブロックにおいて、各々アルミニウムからなり、少なくともそれらの一方に冷却液の流路形成用の凹部が加工されている第1の母材及び第2の母材を、両者の間に亜鉛を介在させた状態で酸素を含む加熱雰囲気下で接合することにより、亜鉛がアルミニウム中に拡散された拡散接合層と亜鉛酸化膜からなる防食層とが同時に形成されてなることを特徴とする冷却ブロック。

IPC (3件)：

H01L 21/306 , H05H 1/46 , H01L 21/205

FI (3件)：

H01L21/302 101G , H05H1/46 M , H01L21/205

Fターム (19件)：

5F004AA16 , 5F004BA06 , 5F004BA08 , 5F004BA09 , 5F004BB07 , 5F004BB11 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F004BB28 , 5F004BB29 , 5F004CA02 , 5F045AA08 , 5F045EH05 , 5F045EH13 , 5F045EH16 , 5F045EJ03 , 5F045EJ10 , 5F045EM05 , 5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (1件)

熱交換器用防食アルミニウム合金ろう材および熱交換器用高耐食性アルミニウム合金複合材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-275617 出願人：古河電気工業株式会社

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