特許
J-GLOBAL ID：200903067911334472
投影レンズ系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116791
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331941
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 レンズ材料として使用できる硝材が限定されている場合に、色収差を含む諸収差を有効に補正したコンパクトで製作性の問題の少ない高解像力・広露光面積投影レンズ系。【構成】 複数のレンズから構成されており、その中の少なくとも1つのレンズが回折光学素子11からなる投影レンズ系10において、回折光学素子11が、近軸的には正パワーを持ち、光軸から離れるに従って正パワーから負パワーに連続的に変化するピッチ配列を持つ。回折光学素子は、屈折系で発生する収差と逆符号の大きな収差を発生させるので、投影レンズ系の諸収差を良好に補正し、軸上色収差も改善される。このようなピッチ配列により、回折光学素子の最小ピッチがあまり小さくならない。
請求項（抜粋）：
複数のレンズから構成されており、その中の少なくとも1つのレンズが回折光学素子からなる投影レンズ系において、前記回折光学素子が、近軸的には正パワーを持ち、光軸から離れるに従って正パワーから負パワーに連続的に変化するピッチ配列を持つことを特徴とする投影レンズ系。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
