特許

J-GLOBAL ID：200903067922603432

圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者： 保富 英雄
出願人/特許権者： ミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114653
公開番号（公開出願番号）：特開平9-300614
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】 筒形の圧電アクチュエータをフレームと一体的に製造することにより、圧電アクチュエータを配置する容易にする。【解決手段】 複数の管状電極44(共通電極20)の一端をフレーム40で支持する。次に、管状電極の少なくとも一部に圧電材料を含む膜48を形成し、乾燥後高温下で膜を焼成する。そして、膜の表面に個別電極22を形成し、膜を分極して圧電アクチュエータ14とする。

請求項（抜粋）：

壁面部に複数の管状電極を一体成型してなる導電性部材と、上記管状電極の外面を覆うように設けられた圧電体と、該圧電体外面に形成された外部電極とを備えたインクジェット記録ヘッドの圧電アクチュエータ。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z