特許
J-GLOBAL ID：200903067926724951
ダイシング用テープ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327839
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148277
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウェーハをフレームに配設するダイシング用テープに発光機能を設けることにより、例えば不定形のウェーハの大きさ、形状、位置を形状認識手段で確実に認識できるようにする。【解決手段】 半導体ウェーハとフレームとを一体にし、ダイシングするためのダイシング用テープであって、このテープには発光層が形成される。ウェーハによって遮光された遮光領域と、遮光されない発光領域を積極的に作り、ウェーハとテープとの明暗のコントラストを明確にする。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハとフレームとを一体にし、ダイシングするためのダイシング用テープであって、このテープには発光層が形成されていることを特徴とするダイシング用テープ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 M
, H01L 21/02 A
