特許

J-GLOBAL ID：200903067934795981

露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 道口 健太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-203244
公開番号（公開出願番号）：特開2009-038301
出願日： 2007年08月03日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：

【課題】 投影光学系と物体との間に供給された液体の周囲への飛散を低減する新規な技術を提供すること。【解決手段】 原版からの光を投影して像面に像を形成する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と基板との間隙に満たされた液体と前記投影光学系と該原版とを介して該基板を露光する露光装置を、該間隙より外側に配された第1の電極を有するものとする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

原版からの光を投影して像面に像を形成する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と基板との間隙に満たされた液体と前記投影光学系と該原版とを介して該基板を露光する露光装置であって、 該間隙より外側に配された第1の電極、 を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (2件)：

5F046AA28 ,  5F046CB24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット
  
• 国際公開第2004/053955号パンフレット
  
• 国際公開第2004-093159号パンフレット